Author Affiliations +
Natalia V. Davydova,1 Vincent Wiaux,2 Joost Bekaert,2 Frank J. Timmermans,1 Bram Slachter,1 Tatiana Kovalevich,2 Eelco van Setten,1 Marcel Beckers,1 Simon van Gorp,1 Rongkuo Zhao,3 Dezheng Sun,3 Ming-Chun Tien,3 Hoon Ser,3 Diederik de Bruin,1 Stephen D. Hsu,3 Rene Carpaij1
1ASML Netherlands BV (Netherlands)
2imec (Belgium)
3ASML United States (United States)