Author Affiliations +
Nahee Park,1 Dohwa Lee,1 Liu Liu,2 Xuefei Zhou,2 Hongpeng Su,2 Dongsub Choi,1 Wayne Zhou,2 Hedvi Spielberg,3 Efi Megged,3 Chen Dror,3 Diana Shaphirov,3 Zephyr Liu,2 Mark Ghinovker,3 Dongyoung Lee,4 Hongbok Yeon,4 Hyunjun Kim,4 Sukwon Park,4 Bohye Kim,4 Honggoo Lee,4 Sangho Lee4
1KLA Corp. (Korea, Republic of)
2KLA Corp. (China)
3KLA Corp. (Israel)
4SK Hynix, Inc. (Korea, Republic of)